2025年3月14日 — QureDA Research株式会社（本社：兵庫県三田市、社長：瀬川恭平、以下QureDA）は、このたびレーザーテック株式会社（本社：神奈川県横浜市、社長：仙洞田哲也、以下レーザーテック）とSiCウエハー評価技術分野における戦略的パートナーとして協業を開始したことをお知らせいたします。
本協業により、両社はお互いの強みを生かし、評価技術の発展と市場価値向上を目指した協力体制を構築します。
QureDAの革新的なＤynamic AGE-ing®技術を通して培ってきたＳｉＣウエハー量産製造時の品質バラつきを可視化し分析する能力と、レーザーテックが有する明視野光学系を用いたウエハー表面と内部の欠陥検査技術などを用いて、今後より高次元の品質安定性が求められるSiCパワーデバイス市場において、高品質なSiCウエハーの安定的な量産と生産コスト低減に必要不可欠な検査技術・システムプラットフォーム構築を目指してまいります。
※Dynamic AGE-ing®
関西学院大学（金子忠昭工学部教授ら）が創出した技術。SiCウエハーを超高温（2,000℃領域）の気相環境におくことで、SiCウエハー製造工程で生じる結晶欠陥の無害化や加工工程で生じる残留加工歪み層を除去できる非接触型のナノ制御プロセス技術。QureDAは独占的な使用権を有する。
協業の背景と目的
近年、SiCパワーデバイスは脱炭素社会実現に向け、電動車（EV）やAI向けサーバー電源、太陽光発電システム、鉄道車両への搭載が進む中、いまだ製造工程においては歩留まりに影響を与える残留加工歪みや結晶欠陥が数多く存在し、安定生産や生産コストの低減に多くの課題が存在しています。そうした背景から市場では、より効率的かつ精度の高い品質評価技術が求められています。このような状況を踏まえ、両社はこれまで培ってきた専門知識や技術力を生かし、SiCウエハーの品質向上および、安定化に貢献する評価システムの構築に向け、戦略的パートナーとして協業を開始する運びとなりました。
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QureDA Research株式会社
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メールアドレス: hirofumi_ise@qureda-research.com
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