パワー半導体向けSiCウエハーの品質・歩留まり向上技術の開発トヨタ自動車による開発支援

　QureDA Research株式会社（本社:兵庫県三田市、社長:瀬川恭平、以下QureDA）では、パワー半導体材料である炭化ケイ素（SiC）ウエハーの品質と生産性を向上させる「Dynamic AGE-ing®」と「評価技術」の技術開発を進めています。

　SiCパワー半導体は低損失・高周波駆動・高温動作が実現可能であるため、電気自動車（EV）向け需要が急激に拡大しています。しかしながらSiCウエハーの製造は難しく、品質向上や価格低減、また生産の安定性など多くの課題を残しています。

　QureDAは2025年の社会実装に向け、量産技術開発を加速するために2023年4月にトヨタ自動車株式会社（本社:愛知県豊田市、社長:佐藤恒治、以下トヨタ自動車）と「技術開発業務委託契約」を締結しました。

　QureDAの先行技術開発力と、トヨタ自動車の量産技術開発力を融合し、品質の良いSiCウエハーの安定した供給体制の実現に貢献していきます。

※Dynamic AGE-ing®
関西学院大学（金子忠昭工学部教授ら）が創出した技術。SiCウエハーを超高温（2,000℃領域）の気相環境におくことで、SiCウエハー製造工程で生じる結晶欠陥の無害化や加工工程で生じる残留加工歪み層を除去できる非接触型のナノ制御プロセス技術

補足図）QureDA Researchのビジネスモデル

【QureDA Research会社概要】

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